真空等離子清洗機(Plasma cleaner)是一種將氣體通過激勵電源離化成等離子態(tài)的設備，等離子處理就是通過利用這些活性組分的性質進行氧化、還原、裂解、交聯和聚合等物理和化學反應改變樣品表面性質，主要用于各種材料的表面改性處理(清潔、活化、刻蝕、接枝、聚合等)。它是一種干式的微觀“污垢”清潔設備，環(huán)保無污染，是企業(yè)生產、科研所及高校實驗的理想設備。